ШВИДКІСТЬ І ЯКІСТЬ ТРАВЛЕННЯ МІДІ У ХЛОРИДНИХ ЕЛЕКТРОЛІТАХ

Автор(и)

  • Еліна Борисівна Хоботова Харківський національний автомобільно-дорожній університет, Україна https://orcid.org/0000-0001-6377-5186
  • Віта Василівна Даценко Харківський національний автомобільно-дорожній університет, Україна https://orcid.org/0000-0001-8331-8863

DOI:

https://doi.org/10.20998/2079-0821.2026.01.10

Ключові слова:

мідь, травлення, хлоридні електроліти, енергія активації, порядок реакції, лімітуюча стадія, точність травлення

Анотація

Травлення міді та її селективне розчинення зі сплавів широко застосовуються в електронній та приладобудівній промисловості у процесі виготовлення друкованих плат. Підвищення ефективності хімічного розчинення міді вимагає глибокого розуміння механізму процесу та можливості контролювати швидкість стадій, що обмежують швидкість реакції. Метою даного дослідження є визначення макрокінетичних параметрів хімічного розчинення міді в розчинах хлоридів різного складу: констант швидкості реакції, ступенів реакції для окремих компонентів та енергії активації, а також визначення природи стадії, що обмежує швидкість реакції, та точності травлення. Показано, що залежності швидкості травлення від потенціалу при високих швидкостях обертання мають S-подібну форму з наявністю ділянки постійної швидкості травлення в діапазоні потенціалів від –1,0 до 1,0 В. Це зумовлено частковим екрануванням поверхні міді важкорозчинною сіллю CuCl під час видалення пухкої частини нальоту. Розчинення міді відбувається через пори та тріщини шару CuCl. Були визначені значення константи швидкості травлення k при різних температурах. При температурі 20 °C значення k становить, м/с: при використанні розчину FeCl₃ – 2,8·10−5; CuCl₂ – 4,28·10−6. Значення енергії активації травлення міді (кДж/моль) у розчинах FeCl3 становить 12,8 та у розчинах CuCl2 – 22,5, що вказує на дифузійне обмеження процессу та надає можливість регулювання кінетичних параметрів процесу під час перемішування. Травлення в розчинах купрум-аміаку (Ea = 31,8 кДж/моль) характеризується змішаним дифузійно-кінетичним контролем. Порядок реакції для іонів Cu(II) було визначено як 1,02, а для іонів Cl – як 1,98, що дозволило записати кінетичне рівняння реакції. Найвища точність травлення міді під дифузійним контролем була зафіксована при використанні кислих розчинів CuCl2, FeCl3 та їх сумішей. Потенціал для вивчення механізму та кінетики процесів травлення полягає як у збагаченні теоретичного розуміння шляхів розчинення міді в різних середовищах, так і в розумінні можливої поведінки інших багатовалентних металів за подібних умов.

Біографії авторів

Еліна Борисівна Хоботова, Харківський національний автомобільно-дорожній університет

Професор, доктор  хімічних наук, професор кафедри хімії та хімічної технології

Віта Василівна Даценко, Харківський національний автомобільно-дорожній університет

Доцент, кандидат хімічних наук, доцент кафедри хімії та хімічної технології

Посилання

Atta, R.M. (2022). Effect of applying air pressure during wet etching of micro copper PCB tracks with ferric chloride. International Journal of Materials Research. 113(9). 795−808. https://doi.org/10.1515/ijmr-2021-8343

Fateh, A., Aliofkhazraei, M., Rezvanian, A.R. (2020). Review of corrosive environments for copper and its corrosion inhibitors. Arab. J. Chem. 13(1), 481–544.https://doi.org/10.1016/j.arabjc.2017.05.021

Bacelis, A., Veleva, L., Alpuche-Avilés, M.A. (2020). Copper corrosion behavior in simulated concrete-pore solutions. Metals. 10(4), 474. https://www.mdpi.com/2075-4701/10/4/474

Zhao, H., Chang, J., Boika, A., Bard, A.J. (2013). Electrochemistry of high concentration copper chloride complexes. Anal. Chem. 85(16). 7696–7703. https://pubs.acs.org/doi/10.1021/ac4016769

Lin, W., Wong, C.P. (2011). Fast etching of copper in thionyl chloride/acetonitrile solutions. Corrosion Science. 53(10), 3055–3057. https://doi.org/10.1016/j.corsci.2011.06.031

Wang, Z., Che, J., Ye, C. (2010). Application of ferric chloride both as oxidant and complexant to enhance the dissolution of metallic copper. Hydrometallurgy. 105(1−2). 69–74. https://doi.org/10.1016/j.hydromet.2010.07.013

Sisso, O., Dor, S., Eliyahu, D., Sabatani, E., Eliaz, N. (2020). Corrosion inhibition of copper in ferric chloride solutions with organic inhibitors. npj Mater Degrad. 4, 38. https://doi.org/10.1038/s41529-020-00139-0

Allen, D.M., Almond, H.J.A. (2004). Characterization of aqueous ferric chloride etchants used in industrial photochemical machining. J. Mater. Process. Technol. 149(1−3). 238–245. https://doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2004.02.044

Serga, V., Zarkov, F., Blumbergs, E., Shishkin, A., Baronins, Ja., Elsts, E., Pankratov, V. (2022). Leaching of Gold and Copper from Printed Circuit Boards under the Alternating Current Action in Hydrochloric Acid Electrolytes. Metals. 12(11). 1953. https://doi.org/10.3390/met12111953

Haonan H.D., Whai Shin O.A., Moment A.J. (2025). Investigation of in-situ mechanical and chemical etching: A milder hydrometallurgical approach for Au, Ni, and Cu recovery from printed circuit boards. Resources, Conservation and Recycling. 212, 108013. https://doi.org/10.1016/j.resconrec.2024.108013

Sronsri, С., Wanpasuk Sittipol, W., Panitantum, N., Kongpop U-yen. (2021) Optimization of elemental recovery from electronic wastes using a mild oxidizer. Waste Management. 135, 420–427.

https://doi.org/10.1016/j.wasman.2021.09.027

Kreizer, I., Tutukina, N., Zartsyn, I., Marshakov, I. (2002). The Dissolution of a Copper Cathode in Acidic Chloride Solutions. Protection of Metals. 38, 226–232. https://doi.org/10.1023/A:1015609103529

##submission.downloads##

Опубліковано

2026-05-27